DTVHR4275-050-PM-05872 JEL ROBOT REPAIR JEL로봇수리 JEL로보트수리

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이번에 수리한 모델은 JEL ROBOT입니다.
반도체 공정 장비로 유명한 JEL로봇입니다.

품번은 DTVHR4275-050-PM-05872입니다. 
웨이퍼 이송 로봇으로 Twin-arm 로봇입니다.

 

장시간 사용중 가동부의 정비를 하지 않아 고온에 구리스 등이 산화 및 탄화작용으로 인하여 흡출 및 오염이 발생하였습니다. 

베어링 및 LM가이드레일, 볼스크류 등은 분해, 세척후 전용 진공 고열 구리스를 도포하였습니다. 

정비후, 가동 테스트에서 반복 정밀도, 진동, 엔코더 피드백 등을 점검하였습니다.